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Z軸升降機構
Z軸升降機構
詳  情 介 紹
XXY精密對位平臺 – Z軸升降式 
臺面尺寸 : 350x350、600x600 (mm) 
基座尺寸 : 350x410、620x660 (mm) 
★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構 
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現 
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用 
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度 
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能 
★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量



型號

工作臺面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

水平負載能力 (kgf)

WNAZS350

350x350

350x410

±15

Fv 200 ; Fs 200

WNAZS600

600x600

620x660

5

Fv 200 ; Fs 400

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