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特殊規格對位平臺
特殊規格對位平臺
  情 介 紹
XXY精密對位平臺-電磁式、氣壓式 
臺面尺寸 : 350x350 (mm) 
基座尺寸 : 350x350 (mm) 
★ 超薄型、輕量化平臺-采用Mini stage Xyθ模塊化結構,實現無中座的薄且輕的機構 
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現 
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用 
★ 在各運動軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度 
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,質量及效能 
★ 實行三次元全檢,保證滑臺出廠精度與質量 臺灣精品獎產品 WNAS00-350AC精密XXY對位平臺-超高剛性型-氣壓式 WNAS00-350SC精密XXY對位平臺-超高剛性型-電磁式




型號

工作臺面尺寸 (mm)

基座尺寸 (mm)

行程 (mm)

水平負載能力 (kgf)

WNAS00-350SC

350x350

350x350

±10x±10

Fv 45 ≦ 0.01 mm ; Fs 500 ≦ 0.01 mm

WNAS00-350WC

350x350

350x350

±10x±10

Fv 45 ≦ 0.01 mm ; Fs 500 ≦ 0.01 mm

WNAS00-350AC

350x350

350x350

±10x±10

Fv 45 ≦ 0.01 mm ; Fs 500 ≦ 0.01 mm

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